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產(chǎn)品展示

PRODUCT CENTER

產(chǎn)品展示

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BOE清洗機(jī)

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產(chǎn)品名稱(chēng):BOE清洗機(jī)

功能簡(jiǎn)介:用于PVD工藝PSG和氧化硅的去除

工藝流程:酸洗→水洗→預(yù)脫水→烘干

設(shè)備特點(diǎn):支持MES、RFID及選配在線稱(chēng)重功能;在線一鍵洗配槽,實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單快速換液;工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào);適配多品牌添加劑;清洗干凈徹底

產(chǎn)品名稱(chēng)

BOE清洗機(jī)

型號(hào)

KSBOE

適用工藝路線

TOPCON

功能簡(jiǎn)介

用于PVD工藝PSG和氧化硅的去除

工藝流程

酸洗→水洗→預(yù)脫水→烘干

適用硅片尺寸

182x182mm、可兼容18X-230 硅片多種尺寸

花籃數(shù)量

4、6籃

產(chǎn)能

182:≥16000片/小時(shí);210:≥12500片/小時(shí)

碎片率

硅片厚度≥130um,碎片率<0.01%

功率/電壓

295KW/380V 50Hz3 相5線制

設(shè)備特點(diǎn)

支持MES、RFID及選配在線稱(chēng)重功能;在線一鍵洗配槽,實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單快速換液;工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào);適配多品牌添加劑;清洗干凈徹底