芭乐APP下载安装汅_芭乐APP下载网址进入IOS_芭乐视频污污_芭乐视频APP官方入口

產(chǎn)品展示

PRODUCT CENTER

產(chǎn)品展示

PRODUCT CENTER

RCA繞鍍清洗機

01  |  

產(chǎn)品名稱:RCA繞鍍清洗機

功能簡介:用于LPCVD\PECVD繞鍍多晶硅的去除

工藝流程:去繞鍍→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→預脫水→烘干

設(shè)備特點:"支持MES、RFID及選配在線稱重功能;在線一鍵洗配槽,實現(xiàn)簡單快速換液; 工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào);適配多品牌添加劑;去繞鍍、清洗干凈徹底"

產(chǎn)品名稱

RCA繞鍍清洗機

型號

KSRCA

適用工藝路線

TOPCON

功能簡介

用于LPCVD\PECVD繞鍍多晶硅的去除

工藝流程

去繞鍍→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→預脫水→烘干

適用硅片尺寸

182x182mm、可兼容18X-230 硅片多種尺寸

花籃數(shù)量

4、6籃

產(chǎn)能

182:≥16000片/小時;210:≥12500片/小時

碎片率

硅片厚度≥130um,碎片率<0.01%

功率/電壓

295KW/380V 50Hz3 相5線制

設(shè)備特點

"支持MES、RFID及選配在線稱重功能;在線一鍵洗配槽,實現(xiàn)簡單快速換液; 工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào);適配多品牌添加劑;去繞鍍、清洗干凈徹底"