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產(chǎn)品展示

PRODUCT CENTER

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單晶制絨清洗機(jī)

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產(chǎn)品名稱:單晶制絨清洗機(jī)

功能簡介:通過硅于堿的各向異性反應(yīng)在硅片表面制備均勻的金字塔絨面結(jié)構(gòu),提升硅片陷光效應(yīng)。

工藝流程:去損傷→預(yù)清洗→制絨→后清洗(可兼容O3清洗)→酸洗→預(yù)脫水→烘干

設(shè)備特點:制備的金字塔結(jié)構(gòu)均勻,刻蝕深度可調(diào);支持MES、RFID及選配在線稱重功能;在線一鍵洗配槽,實現(xiàn)簡單快速換液;工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)。

產(chǎn)品名稱

單晶制絨清洗機(jī)

型號

KSTEX

適用工藝路線

TOPCON、PERC、HIT、XBC、疊層電池等

功能簡介

通過硅于堿的各向異性反應(yīng)在硅片表面制備均勻的金字塔絨面結(jié)構(gòu),提升硅片陷光效應(yīng)。

工藝流程

去損傷→預(yù)清洗→制絨→后清洗(可兼容O3清洗)→酸洗→預(yù)脫水→烘干

適用硅片尺寸

182x182mm、可兼容18X-230 硅片多種尺寸

花籃數(shù)量

4、6籃

產(chǎn)能

182:≥16000片/小時;210:≥12500片/小時

碎片率

硅片厚度≥130um,碎片率<0.01%

功率/電壓

310KW/380V50Hz 3相5線制

設(shè)備特點

制備的金字塔結(jié)構(gòu)均勻,刻蝕深度可調(diào);支持MES、RFID及選配在線稱重功能;在線一鍵洗配槽,實現(xiàn)簡單快速換液;工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)